マルチアーク(MAV)方式、ホロカソード(HCD)方式、代表的な2種類の方法を説明します。
日本コーティングセンター(株)製品
PVD法には、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどがあります。当社はPVDの最先端をゆくマルチアーク方式のイオンプレーティング装置。また切削工具の分野で実績の高いHCDホロカソード方式のイオンプレーティング装置をそろえて、お客様の多様なニーズにお答えします。
【マルチアーク方式イオンプレーティグ装置の特徴】
1.低温処理
200℃～500℃の低温でコーティングします。そのため、熱による材質劣化、歪みがなくなりました。低温焼き戻し鋼への適用や寸法精度が要求されるものにもご好評をいただいております。
2.強固な密着性
大きな負荷電圧がかけられるため、処理物に対するイオンの衝突エネルギーが大きくなり、母材への拡散効果増大します。そのため、コーティング膜の密着性は他のPVD法によるそれに比べて、より強固になりました。
3.均一な被膜
多数個のプラズマ発生源（エバポレーター）があらゆる方向に設置されているため、複雑な形状の処理物にも均一なコーティングができます。
また、装置は国内最大級の規模のため、大型の部品や長尺の処理物にも対応できます。
・長尺物：最大2.5m
・大径物：φ900mm
・重量：最大1,000kg
4.複合膜・多層膜が可能
TiAlN、TiN/CrN、TiCN/TiN等。
【ホローカソード方式イオンプレーティグ装置の特徴】
1.高エネルギープラズマ
450℃～500℃のコーティング温度域。アーク方式に比べ、処理温度が高いものの、高エネルギープラズマを用いるコーティングは、切削工具に適した装置。
2.スムースなコーティング
アーク方式に比べ、平滑なコーティングが得られます。
3.TiCNコーティング
切削工具に実績のあるTiCNコーティングの主力コーティング装置です。多くの工具メーカーで用いられているタイプです。
【コーティング膜基本特性】
| 膜種 | 色調 | 硬度HV | 摩擦係数 | 耐食性 | 耐酸化性 | 耐摩耗性 | 耐焼付性 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TiN | 金色 | 2000～2400 | 0.45 | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
| ZrN | 白金色 | 2000～2200 | 0.45 | ◯ | △ | △ | △ |
| CrN | 白銀色 | 2000～2200 | 0.3 | ◎ | ◯ | ◯ | ◎ |
| TiCN | 紫～グレー | 3000～3500 | 0.15 | △ | △ | ◎ | ◯ |
| TiAlN | 紫～黒色 | 2300～2500 | 0.4 | ◯ | ◎ | ◯ | ◯ |
| Al2O2 | 透明～灰色 | 2200～2400 | 0.15 | ◯ | ◎ | ◯ | ◯ |
| DLC | 黒色 | 3000～8000 | 0.1 | ◯ | △ | ◯ | ◎ |
