CVDセラミックコーティング概要

CVD（Chemical Vapor Deposition）セラミックコーティング概要

ＣＶＤは高温でTiC,TiCN,TiNをコーティングし、強固な膜を生成します。

苛酷な条件下にも耐えるセラミックコーティング

ＣＶＤ法（化学蒸着法）は、高温炉に各種化合物をガス状で供給し、処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせるプロセスです。
熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、高温度（900～1100℃）で単層又は多層コーティングし、得られた高硬度、高密着力セラミック膜により素材の性能を飛躍的に向上させます。

色調	ダークゴールド
膜厚	5～8μm
密着力Lc値	90N以上
硬度HV	3000～4000
摩擦係数	0.25～0.45
適用	耐摩耗性・耐焼付性・耐熱性・耐腐食性

CVDセラミックコーティング加工の特徴

複層多重被膜

炭化物（TiC）、窒化物（TiN）、炭窒化物（TiCN）など超硬質セラミック化合物を単層に、または複層にコーティングができます。そのため、被膜機能が一段と充実します。

高密着性被膜

900～1,100℃の高温下でコーティングするため、セラミックと処理物表面との間で原子拡散が活発に行われます。そのため、被膜の密着性は強固です。

良好なつきまわり性

気相での化学反応が本法の特長です。そのため、複雑な形状をもつ機構部品や細孔内部へも、まんべんなく、均一にコーティングができます。

CVDセラミックコーティング加工の適用例

金型	冷間鍛造用金型、フォーミングパンチ・ダイ、ニブ、トリミングダイス、サイジングダイス、曲げダイ、絞りパンチ・ダイ、抜パンチ、トリマーダイス、プラスパンチ、バーリングパンチ、コイニングパンチ、刻印、マンドレルダイカストピン、入子ピン、押出ダイス
切削工具・刃物	超硬チップ、バイト、パイプ切断刃、カッター、チェザーチップ
機械部品	基準ピン、ガイド、ローラー、ホルダー、ニードル、ブッシュ、電極、給電子、ノズル、プラグ、ボールバルブ、ベアリングボール、ホットランナーノズル
その他	セラミック、カーボン部品

CVDセラミックコーティング膜の特徴

【TiC/TiCN/TiN（多層コート）】：耐焼付性、耐摩耗性、耐食性の要求される分野へ
【TiC】：耐摩耗性の要求される分野へ
【TiN】：耐摩耗性の要求される分野へ

CVDコーティングの処理可能な基材材質

CVDコーティングは、900～1000℃の高温処理です。材質によってコーティング後の熱処理を行っております。材質・形状等によって、処理が異なりますので、別途ご相談下さい。

材質	種類
高速度工具鋼	SKH51～57（YXR3, YXM7）、粉末HSS (ASP20, 30, HAP10,20,40, DEX20,40)
冷間ダイス鋼	SKD11（SLD, DC11）、SKD11相当(SLD8, HPM31, DC53, PD613)、SKD12
熱間ダイス鋼	SKD61（DAC,DHA）
マルテンサイト系ステンレス	SUS420J2（STAVAX,HPM38）、SUS440C (ELMAX）
超硬合金	超硬合金（ソリッド）